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巖田無油渦旋式真空泵，也被稱為干式真空泵，是一種無需任何油作潤滑就能運轉工作的機械真空泵。這種泵具有結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。由于其耐用性好，它是抽真空和壓縮兩用真空泵，被廣泛應用在獲得真空的基本設備中。 無油渦旋式真空泵，一種無需任何油作潤滑就能運轉工作的機械真空泵，被廣泛應用于多個領域。例如，在半導體行業，它被用于薄膜制備設備和半導體器件封裝設備中。

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